今日便談?wù)劜簧傺芯咳藛T及學(xué)生都會(huì)使用到的日本電子掃描電鏡相關(guān)知識(shí)點(diǎn)，即使你們沒(méi)有實(shí)際操作過(guò)，但是其原理及成像操作都應(yīng)有所掌握。
工作原理：
從燈絲發(fā)射出來(lái)的熱電子，受2-30KV電壓加速，經(jīng)兩個(gè)聚光鏡和一個(gè)物鏡聚焦后，形成一個(gè)具有一定能量，強(qiáng)度和斑點(diǎn)直徑的入射電子束，在掃描線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用下，入射電子束按一定時(shí)間、空間順序做光柵式掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，從樣品中激發(fā)出的二次電子通過(guò)收集，可將向各個(gè)方向發(fā)射的二次電子收集起來(lái)。這些二次電子經(jīng)加速并射到閃爍體上，使二次電子信息轉(zhuǎn)變成光信號(hào)，經(jīng)過(guò)光導(dǎo)管進(jìn)入光電倍增管，使光信號(hào)再轉(zhuǎn)變成電信號(hào)。這個(gè)電信號(hào)又經(jīng)視頻放大器放大，并將其輸入到顯像管的柵極中，調(diào)制熒光屏的亮度，在熒光屏上就會(huì)出現(xiàn)與試樣上一一對(duì)應(yīng)的相同圖像。入射電子束在樣品表面上掃描時(shí)，因二次電子發(fā)射量隨樣品表面起伏程度(形貌)變化而變化。
視頻放大器放大的二次電子信號(hào)是一個(gè)交流信號(hào)，用這個(gè)交流信號(hào)調(diào)制顯像管柵極電，其結(jié)果在顯像管熒光屏上呈現(xiàn)的是一幅亮暗程度不同的，并反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像。掃描電鏡入射電子束在樣品表面上掃描和在熒光屏上的掃描須是“同步”，即用同一個(gè)掃描發(fā)生器來(lái)控制，這樣就能保證樣品上任一“物點(diǎn)”樣品A點(diǎn)，在顯像管熒光屏上的電子束恰好在A’點(diǎn)即“物點(diǎn)”A與“像點(diǎn)”A’在時(shí)間上和空間上一一對(duì)應(yīng)。通常稱(chēng)“像點(diǎn)”A’為圖像單元。顯然，一幅圖像是由很多圖像單元構(gòu)成的。
日本電子掃描電鏡除能檢測(cè)二次電子圖像以外，還能檢測(cè)背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號(hào)圖像。其成像原理與二次電子像相同。
目前的日本電子掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。
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